【轻量、紧凑】

采用简单的截止型结构，与以往的耐磨型膜片阀相比，进一步实现了轻量、紧凑化。

有助于装置的省空间、节能化。

【高耐久性】

应用要求高洁净度和耐久性的半导体行业的液体控制技术。

比以往的耐磨型膜片阀大幅提高膜片的耐久性，实现长期稳定动作。

【维护性】

可更换膜片。

更换方便，缩短维护时间。