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玻璃基板上浮模组
玻璃基板上浮模组

型号:GFM

 

玻璃基板上浮模组

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  • 衍生系列

【非接触上浮搬运】

通过采用新型多孔材料,实现了稳定的上浮。

不用接触工件即可顺畅搬运,且可防止工件带电。

【可视性提高】

通过采用黑色本体,无散射,提高了工件的可视性。

最适用于高灵敏度检查。

抑制了上浮空气的颗粒。

【根据用途选择】

可根据精密上浮、玻璃面板搬运、制程工序的装载等用途,自由选择上浮导轨和上浮盘。

型号 名称 上浮量(参考)主要用途 备注
GFM-A校准上浮盘10μm以上定位
GFM-T高上浮导轨250μm以上玻璃面板搬运
GFM-RF上浮导轨250μm以上搬运
GFM-RS上浮导轨150μm以上装载・卸载
GFM-P精密上浮台30μm以上各种工序