【无需真空破坏阀】

通过无正压的真空脱离，无需采取措施防止极小芯片被吹走。

无需繁琐地调整破坏压力、流量及定时。

不使用真空破坏阀，实现了精简化。

【占用空间最小化】

与以往的带破坏单元相比，安装面积减少44％，重量减少53%，最适用于制造装置的小型化。

即使在极小空间也可安装，装置设计的自由度更高。

通过轻量化，便于安装在装置可动部。

【可配备压力传感器】

单元中配备真空用压力传感器，外形更小巧。

负压检测也实现省空间。

采用U形卡销固定压力传感器，提高可维护性。

【可安装真空用过滤器】

配管过程中无需安装过滤器。

真空用过滤器采用快插式更换。