【NEW：追加对应马达】

追加配备了无电池绝对式传感器的马达。 无传感器支架，也可掌握原点位置。

【软触摸/低发尘/长寿命】

采用磁弹簧缓冲机构。不论行程，按压恒定。另外，没有金属接触，实现低尘且长寿。

【转动精度0.01㎜以下】

内置球杆实现旋转精度0.01㎜以下。

【简易配管】

可以从阀体前面真空配管，使用简单。

【省空间】

宽度间距20㎜。可组装小型集成阀。

【防止脱节】

采用轴承和导向沟的止回机构。抑制高精度轴振动，实现高回归位置精度。