【小型、轻量】
最适用于安装空间有限的客户。
产品高度紧凑化。
【高速且稳定的响应性】
主阀采用直动阀，实现高速且稳定的响应性。
(ON/OFF=5㎜/sec以下)
【4种压力传感器】
压力传感器备有4种模拟输出类型。
| 型号 |
名称 |
喷嘴直径 |
备注 |
| VSN-H | 单品型・高真空・中流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | | | VSN-E | 单品型・高真空・小流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | | | VSNM-H | 集成型・高真空・中流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | | | VSNM-E | 集成型・高真空・小流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | | | VSNM-Z | 集成型・混合规格 | - | |
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