【可进行缓慢排气控制】

与通常的ON/OFF真空阀和两段排气真空阀相比，实现了固定比率的缓慢排气。

【新增压力控制功能】

以可靠性高的真空阀为基础，增加压力控制功能。

真空时的压力调节无需减压阀和可变漏阀。

通过采用截止阀方式，以O形圈密封结构实现了蝶阀不擅长的全闭动作。

【维护简便】

阀和电装部可分别维护。