【高密封性】
有助于工艺稳定化
● 阀座部的优化设计和超精密加工
● 最大限度抑制阀闭动作时的2次侧泄漏（流出）
【高微小流量控制性】
实现稳定且平稳的动作
● 阀座部形状的优化设计
● 微小流量下也可稳定控制
【减少迟滞】
安全满足目标压力
● 采用高品质材料
● 超精密加工
| 型号 |
名称 |
流量 | 2次侧设定压力 |
备注 |
| PGM-30V | 工艺气体用减压阀 | 20ℓ/min | -0.07～0.21Mpa | | | PGM-30 | 工艺气体用减压阀 | 20ℓ/min | 0～0.21Mpa | | | PGM-50 | 工艺气体用减压阀 | 20ℓ/min | 0～0.35Mpa | | | PGM-100 | 工艺气体用减压阀 | 20ℓ/min | 0～0.7Mpa | | | PGM-H-60 | 工艺气体用减压阀 | 50ℓ/min | 0～0.42Mpa | | | PGM-H-100 | 工艺气体用减压阀 | 50ℓ/min | 0～0.7Mpa | | | PGM-2H-30V | 工艺气体用减压阀 | 200L/min | -0.07～0.21Mpa | | | PGM-2H-30 | 工艺气体用减压阀 | 200L/min | 0～0.21Mpa | | | PGM-2H-60 | 工艺气体用减压阀 | 200L/min | 0～0.42Mpa | | | PGM-2H-100 | 工艺气体用减压阀 | 200L/min | 0～0.7Mpa | |
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